Spin Coater
Die Rotationsbeschichtung (engl. spin coating) ist ein Verfahren zur Herstellung dünner (> 200 nm) oder ultradünner (< 200 nm) Schichten. Die homogenen Schichten werden erreicht, indem auf das rotierende Substrat entweder eine (kolloidale) Lösung oder Dispersion aufgetropft wird. Die Schichtdicke ist abhängig von der Konzentration der Lösung, der Rotationsgeschwindigkeit (bis 12.000 U/min) und Rotationsdauer. Mit dem WS-650MZ-23NPPB der Firma Laurell können außerdem verschiedene Rotationsprogramme nacheinander eingestellt werden.
